Forno CVD a letto fluidizzato

Forno CVD a letto fluido - TOB-1200-LTS-FB

Panoramica del prodotto e applicazioni ideali

Il TOB-1200-LTS-FB è un forno CVD a letto fluido progettato per esperimenti di deposizione superficiale su polveri. Un tubo in quarzo ad alta purezza supporta una piastra in quarzo poroso nella sua sezione inferiore; la polvere si deposita su tale piastra, il gas viene immesso dal fondo del tubo e il flusso ascendente attraverso la piastra solleva le particelle in modo che fluttuino all'interno della zona riscaldata mentre avviene la deposizione.

Il forno raggiunge i 1200 °C in meno di 1 ora e mantiene 1150 °C in continuo, con una zona di riscaldamento di 200 mm e una zona a temperatura costante di 100 mm. Il tubo è disponibile a Φ25 mm o Φ50 mm con una lunghezza di 600 mm, e la piastra porosa è realizzata in base alla dimensione dei pori richiesta dalla vostra polvere. Una struttura a doppio strato con raffreddamento ad aria, un corpo forno apribile per la sostituzione dei tubi, una protezione per il tubo in quarzo e una valvola di sfiato meccanica della pressione sono tutti elementi di serie.

Ideale per:

• Deposizione CVD su polveri che devono essere sospese singolarmente anziché impaccate in un letto
• Esperimenti di rivestimento in cui il gas deve passare uniformemente attraverso l'intera sezione trasversale del tubo
• Carichi di polvere dimensionati per un tubo da Φ25 mm o Φ50 mm con una lunghezza di 600 mm
• Processi che richiedono una temperatura di picco di 1200 °C con controllo a ±1 °C e una libreria di ricette a 15 programmi
• Non adatto per:gas di processo corrosivi o acidi (i danni derivanti da essi sono esclusi dalla garanzia) o polveri la cui granulometria non può essere fluidificata dalla velocità del gas disponibile

Inviateci il vostro tipo di polvere, la dimensione delle particelle e il rivestimento desiderato, e confermeremo il diametro del tubo e le specifiche della piastra porosa per il vostro processo.

Dove si colloca la CVD a letto fluido nella ricerca sul rivestimento di polveri

In un letto impaccato le particelle si toccano e il gas trova percorsi di minor resistenza, quindi lo spessore del rivestimento varia da particella a particella. Un letto fluido elimina questo problema sollevando le particelle su un flusso di gas ascendente, in modo che ogni particella sia esposta al precursore su tutta la sua superficie. La sequenza all'interno di questo forno è la seguente:

1. La polvere viene caricata sulla piastra in quarzo poroso all'interno del tubo di quarzo e il tubo viene chiuso con il gruppo flangiato in acciaio inossidabile.
2. Il gas di processo viene immesso all'estremità inferiore del tubo e sale attraverso la piastra porosa, che distribuisce il flusso sull'intera sezione trasversale del tubo.
3. Al di sopra della velocità di sollevamento, le particelle lasciano la piastra e formano un letto sospeso all'interno della zona di riscaldamento di 200 mm, dove il precursore si decompone sulle loro superfici.
4. La polvere rivestita viene recuperata dopo il raffreddamento aprendo la flangia superiore. La protezione del tubo e la valvola di sfiato meccanico della pressione rimangono in posizione per l'intera durata del ciclo.

Poiché la dimensione dei pori della piastra determina sia la caduta di pressione sia l'uniformità della distribuzione del gas, essa rappresenta l'unica specifica che incide maggiormente sul risultato. Sono disponibili dimensioni dei pori da 4-550 μm e la piastra è prodotta su ordinazione.

Caratteristiche ingegneristiche chiave del TOB-1200-LTS-FB

• Progettato specificamente per la deposizione su polveri: la piastra in quarzo poroso e l'ingresso del gas sul fondo servono a far sì che le particelle siano sospese nella zona riscaldata, e non semplicemente depositate in essa.
• Struttura a doppio strato con raffreddamento ad aria: il rivestimento esterno rimane più freddo rispetto a un forno a parete singola con la stessa temperatura di camera.
• Corpo forno sdoppiato e apribile: il corpo si apre in modo da poter sostituire il tubo di quarzo senza smontare il forno.
• Protezione del tubo in quarzo: una schermatura attorno al tubo previene lesioni se il quarzo si rompe sotto vuoto o per shock termico.
• Valvola di sicurezza meccanica per lo sfiato della pressione: protegge contro la sovrapressione se la piastra filtrante in quarzo poroso si ostruisce.
• Camera in allumina con rivestimento ad alta temperatura: isolamento in fibra di allumina ad alta purezza con un rivestimento in allumina ad alta temperatura importato dagli Stati Uniti sulla superficie della camera, per una maggiore efficienza di riscaldamento e una maggiore durata della camera.
• Elementi riscaldanti in lega HRE: 1200 °C raggiungibili in meno di 1 ora, 1150 °C in continuo, precisione di ±1 °C su termocoppia di tipo K.
• Gruppo di tenuta in acciaio inossidabile: gruppo flangiato con doppio O-ring in silicone di serie, con gruppi di pompe opzionali fino a 5 × 10⁻¹ Pa (meccanica) o 5 × 10⁻³ Pa (turbo).

Specifiche complete

1. Corpo del forno e specifiche termiche

2. Tubo di quarzo e piastra porosa

3. Sistema di vuoto e tenuta

4. Dimensioni, peso e garanzia

5. Materiali di consumo ed esclusioni dalla garanzia

Sistema di controllo

Il controller funziona su un sistema operativo integrato con un touchscreen a colori reali da 7 pollici. Quattro funzioni sono importanti per il lavoro CVD con polveri ripetibile:

Le schermate sottostanti seguono l'ordine delle righe sopra: la libreria di curve memorizzata, l'editor di curve, l'interfaccia commutabile, la correzione non lineare, l'avvio programmato e i due allarmi di protezione.

Il controller memorizza 15 curve di temperatura, quindi non è necessario reinserire una ricetta per ogni ciclo.

Schermata di impostazione della curva di temperatura.

Il sistema operativo integrato consente di passare dal cinese all'inglese sul touchscreen a colori reali da 7 pollici.

Correzione non lineare della temperatura del campione, utilizzata per allineare la temperatura visualizzata alla temperatura misurata del campione.

Avvio programmato, una funzione opzionale, per i cicli che devono iniziare a un'ora stabilita.

Allarme di sovratemperatura della Zona 1.

Sovratemperatura della Zona 1 con indicazione di interruzione della termocoppia.

Raccomandazioni pratiche operative

• Ordinate la piastra porosa insieme alla polvere, non dopo: la dimensione dei pori determina sia la caduta di pressione attraverso la piastra sia l'uniformità di distribuzione del gas, decidendo quindi se il letto si fluidificherà al flusso disponibile.
• Pianificare la sosta al di sotto della potenza nominale continua: 1200 °C è il picco raggiungibile, 1150 °C è la temperatura continua. Mantenimenti prolungati devono essere effettuati a 1150 °C o al di sotto.
• Mantenere la rampa a o al di sotto di 20 °C/min: questa è la velocità di riscaldamento massima per cui il forno è specificato, e limita inoltre lo shock termico sul tubo di quarzo.
• Non rimuovere mai la protezione del tubo o la valvola di sfogo: la protezione contiene il quarzo in caso di rottura del tubo, e la valvola di sfiato meccanica si apre se la piastra porosa si blocca e la pressione aumenta.
• Verificare la compatibilità dei gas prima dell'avvio: i danni causati da gas corrosivi e acidi sono esclusi dalla garanzia, quindi confermare che il gas di processo sia accettabile prima del primo ciclo termico.
• Disporre di materiali di consumo a magazzino: l'elemento riscaldante, la termocoppia e il crogiolo per campioni sono materiali di consumo e non sono inclusi, quindi ordinare i ricambi insieme al forno anziché dopo un guasto.
• Utilizzare le 15 curve memorizzate come libreria di ricette: una curva per processo garantisce la riproducibilità dello stesso ciclo di rivestimento tra diversi operatori.

FAQ tecniche

D1. Quale tubo dovrei scegliere, Φ25mm o Φ50mm?

R. Entrambi sono offerti con una lunghezza di 600mm. Il tubo più grande contiene più polvere per ciclo e fornisce una minore velocità del gas a parità di flusso volumetrico; il tubo più piccolo raggiunge la velocità di sollevamento con meno gas. Scegliere in base al volume di polvere necessario per esperimento e al flusso di gas disponibile.

D2. Quale dimensione dei pori deve avere la piastra di quarzo porosa?

R. Sono disponibili dimensioni dei pori da 4-550 μm e la piastra è realizzata su ordinazione. La dimensione dei pori deve essere sufficientemente piccola per trattenere la polvere a riposo e sufficientemente aperta per far passare il gas di processo a una caduta di pressione lavorabile, per cui viene specificata insieme alla polvere anziché separatamente.

D3. Qual è la temperatura massima raggiungibile e la velocità di riscaldamento?

R. 1200 °C sono raggiungibili in meno di 1 ora. La temperatura continua è di 1150 °C, l'accuratezza della temperatura è di ±1 °C su una termocoppia di tipo K e la velocità massima di riscaldamento è ≤20 °C/min.

D4. Quale livello di vuoto è possibile raggiungere?

R. Con un gruppo pompa meccanico opzionale il sistema raggiunge 5 × 10⁻¹ Pa; con un gruppo pompa turbo opzionale raggiunge 5 × 10⁻³ Pa. La fornitura standard è costituita dal gruppo flangia di tenuta in acciaio inossidabile con O-ring doppi in silicone.

D5. Cosa succede se la piastra porosa si blocca?

R. È installata una valvola di sicurezza meccanica di sfiato della pressione come parte del gruppo di tenuta standard, in modo che la pressione accumulata da una piastra filtrante in quarzo bloccata venga rilasciata anziché contenuta. È inoltre standard una protezione per tubo in quarzo, in modo che un guasto al tubo non esponga l'operatore.

D6. Posso utilizzare gas di processo acidi o corrosivi?

R. I danni causati da gas corrosivi e gas acidi non sono coperti dalla garanzia, pertanto qualsiasi gas di processo acido o corrosivo deve essere valutato con noi prima di utilizzare il forno con esso.

D7. Cosa copre la garanzia e cosa non è incluso?

R. Un anno di garanzia con supporto tecnico a vita. Le parti soggette a usura — l'elemento riscaldante, la termocoppia, il crogiolo per campioni e articoli simili — non sono incluse, e sono esclusi i danni derivanti da gas corrosivi o acidi.

D8. Quali sono ingombro e peso?

R. 510mm × 430mm × 1000mm, con un peso netto di circa 35KG. Il forno è orientato verticalmente, quindi l'asse del tubo è verticale e il gas entra dal basso.

Indicaci la polvere, la dimensione delle particelle e il rivestimento a cui aspiri. Ti risponderemo con il diametro del tubo, la dimensione dei pori della piastra porosa e il gruppo pompa adatti al ciclo.

tob.amy@tobmachine.com | +86 181 2071 5609

Revisionato da: Pinery Gong, Assemblaggio batterie e processo di rendimento ｜ Ultimo aggiornamento: 19-10-2026

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