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Forno a tubi sottovuoto CVD a tre zone da 1700 ℃
Il forno utilizza un'asta di molibdeno di silicio come elemento riscaldante, adotta una struttura a guscio a doppio strato e un sistema di controllo della temperatura del programma a 31 sezioni, trigger di sfasamento e controllo controllato dal silicio, e il forno adotta una fibra di ceramica di allumina, materiale della piastra leggera in fibra formata sottovuoto.

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