Sistema pecvd a doppia zona a cursore 1200 ℃

oggetto numero.:
TOB-DSP-1200℃-PECVD
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China
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Sistema pecvd a doppia zona a cursore 1200 ℃

specificazioni

modello	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-i	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-ii		tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iii	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iv
energia	3kw	3kw		4kw	4kw
dimensione del tubo del forno (mm)	diametro 60 (od) x1800mm	diametro 80 (od) x1800mm		dia 100 (od) x1800mm	diametro 120 (od) x1800mm
dimensione	1800x410x610	1800x410x610		1800x460x660	1800x460x660
tensione di alimentazione	220v
numero di fase	monofase
modalità di controllo	controllo della temperatura yudiana 30 sezioni possono utilizzare solo la regolazione della temperatura pid. controllo della temperatura fp93 (dal Giappone) (sostituire gli strumenti importati, a pagamento) Il controllo della temperatura del programma di 1,40 sezioni può essere suddiviso in 4,2,1 programmi di gruppo, se il programma è suddiviso in quattro gruppi, ogni segmento di programma 10, Il controllo pid di 2,6 gruppi, bassa, media e alta temperatura può ciascuno con un set di pid, in modo tale che ciascun segmento è in grado di controllare la temperatura è molto preciso.
modalità di controllo della temperatura	pid intelligente
protezione e visualizzazione del burnout	sì
protezione da sovratemperatura	sì
protezione da sovracorrente	sì
precisione di controllo	+/- 1 ℃
grilletto	trigger di sfasamento
scr	106 / 16e germania simon kang
la temperatura massima della zona di temperatura 1.2	1200 ℃
la zona di temperatura 1.2 temperatura nominale	1150 ℃
velocità di riscaldamento	≤30 ℃ / min (disponibile su richiesta modifica)
velocità di riscaldamento consigliata	≤15 ℃ / min
tipo di termocoppia	tipo k
la lunghezza di riscaldamento della zona di temperatura 1.2	205 millimetri
temperatura della superficie circostante	≤45 ℃
potenza del plasma rf	gamma di potenza		0-500w
	massima potenza riflessa		10w
	frequenza del segnale		13,56 mhz ± 0,005%
	rumore		& lt; 30 db
	aria condizionata		metodo di raffreddamento
	potenza di ingresso		208-240v 50 / 60hz
parametri principali del sistema di alimentazione gx	gamma standard		controllore di flusso protonico 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm (puoi scegliere qualsiasi scala)
	precisione		± 1,5%
	calo di pressione		& Lt; 0.01MPa
	ripetibilità		± 0,2% f.s
	max pressione di esercizio		3MP
sistema di scarico vs-0.1	Alimentazione elettrica		220v / 380v 380w
	tasso di pompaggio		2l / s
	vacuometro a resistenza		ZDR-i
	campo di misura del vuoto		0,1-10 5 pa
	pompa a vuoto		VRD-8
	tubo corrugato		kf25x1000mm
	sistema di vuoto		10 -1 pa

e-mail : tob.amy@tobmachine.com

skype: amywangbest86

numero di telefono / whatsapp: +86181 2071 5609

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