Sistema pecvd a doppia zona a cursore 1200 ℃

modello

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-i

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-ii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iv

energia

3kw

3kw

4kw

4kw

dimensione del tubo del forno (mm)

diametro 60 (od) x1800mm

diametro 80 (od) x1800mm

dia 100 (od) x1800mm

diametro 120 (od) x1800mm

dimensione

1800x410x610

1800x410x610

1800x460x660

1800x460x660

tensione di alimentazione

220v

numero di fase

monofase

modalità di controllo

controllo della temperatura yudiana

30 sezioni possono utilizzare solo la regolazione della temperatura pid.

controllo della temperatura fp93 (dal Giappone)

(sostituire gli strumenti importati, a pagamento)

Il controllo della temperatura del programma di 1,40 sezioni può essere suddiviso in 4,2,1 programmi di gruppo, se il programma è suddiviso in quattro gruppi, ogni segmento di programma 10,

Il controllo pid di 2,6 gruppi, bassa, media e alta temperatura può ciascuno con un set di pid, in modo tale che ciascun segmento è in grado di controllare la temperatura è molto preciso.

modalità di controllo della temperatura

pid intelligente

protezione e visualizzazione del burnout

sì

protezione da sovratemperatura

sì

protezione da sovracorrente

sì

precisione di controllo

+/- 1 ℃

grilletto

trigger di sfasamento

scr

106 / 16e germania simon kang

la temperatura massima della zona di temperatura 1.2

1200 ℃

la zona di temperatura 1.2

temperatura nominale

1150 ℃

velocità di riscaldamento

≤30 ℃ / min (disponibile su richiesta modifica)

velocità di riscaldamento consigliata

≤15 ℃ / min

tipo di termocoppia

tipo k

la lunghezza di riscaldamento della zona di temperatura 1.2

205 millimetri

temperatura della superficie circostante

≤45 ℃

potenza del plasma rf

gamma di potenza

0-500w

massima potenza riflessa

10w

frequenza del segnale

13,56 mhz ± 0,005%

rumore

& lt; 30 db

aria condizionata

metodo di raffreddamento

potenza di ingresso

208-240v 50 / 60hz

parametri principali del sistema di alimentazione gx

gamma standard

controllore di flusso protonico 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm

(puoi scegliere qualsiasi scala)

precisione

± 1,5%

calo di pressione

& Lt; 0.01MPa

ripetibilità

± 0,2% f.s

max

pressione di esercizio

3MP

sistema di scarico vs-0.1

Alimentazione elettrica

220v / 380v 380w

tasso di pompaggio

2l / s

vacuometro a resistenza

ZDR-i

campo di misura del vuoto

0,1-10 5 pa

pompa a vuoto

VRD-8

tubo corrugato

kf25x1000mm

sistema di vuoto

10 -1 pa