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Macchina per rivestimento sputtering magnetron
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Macchina per rivestimento sputtering magnetron sotto vuoto

Il rivestimento sputtering magnetron TOB-1100X-SPC-16M utilizza l'effetto sputtering prodotto dal bombardamento di particelle del materiale target in un ambiente sotto vuoto, che fa sì che gli atomi o le molecole del materiale target fuoriescano dalla superficie solida e il processo di formazione di una pellicola sottile si deposita sul substrato.

  • Marca:

    TOB NEW ENERGY

  • oggetto numero.:

    TOB-1100X-SPC-16M

  • ordine (moq):

    1

  • Pagamento:

    L/C,T/T

  • origine del prodotto:

    China

  • porto di spedizione:

    XIAMEN
richiesta ora
Dettagli del prodotto

Macchina per rivestimento sputtering magnetron sotto vuoto


SPECIFICHE

Il rivestimento sputtering magnetron TOB-1100X-SPC-16M utilizza l'effetto sputtering prodotto dal bombardamento di particelle del materiale target in un ambiente sotto vuoto, che fa sì che gli atomi o le molecole del materiale target fuoriescano dalla superficie solida e il processo di formazione di una pellicola sottile si deposita sul substrato. Appartiene alla preparazione della deposizione fisica in fase di vapore (PVD) della tecnologia a film sottile. Il rivestimento sputtering magnetron TOB-1100X-SPC-16M può essere utilizzato per la preparazione di campioni di microscopio elettronico a scansione in laboratorio e le dimensioni compatte dell'attrezzatura consentono di risparmiare spazio in laboratorio; l'operazione è semplice e adatta ai principianti.


Caratteristiche

  • È dotato di vacuometro e misuratore di corrente di sputtering, in grado di monitorare lo stato di funzionamento in tempo reale.
  • Regolando il controller della corrente di sputtering e la valvola del gas a micro vuoto, controlla la pressione della camera a vuoto, la corrente di ionizzazione e seleziona il gas di ionizzazione richiesto per ottenere il miglior effetto di rivestimento.
  • L'anello di tenuta in gomma sul bordo della campana è appositamente progettato per garantire che la campana di vetro non si scheggi durante l'uso a lungo termine.
  • I raccordi per elettrodi ad alta tensione sigillati in ceramica sono più durevoli delle guarnizioni in gomma normalmente utilizzate.
  • In base alle caratteristiche di ionizzazione del gas nel campo elettrico, vengono utilizzate una camera a vuoto di sputtering di grande capacità e un'area corrispondente del bersaglio di sputtering per rendere lo strato spruzzato più uniforme e puro.
  • La testa di sputtering utilizza la tecnologia di raffreddamento Peltier per ottenere rivestimenti a particelle fini ad alte prestazioni.
  • Sono disponibili teste di sputter raffreddate ad acqua e tavoli portanti raffreddati ad acqua.


nome del prodotto

Macchina per rivestimento sputtering magnetron sotto vuotoine

Modello di prodotto

TOB-1100X-SPC-16M

Condizioni di installazione

È necessario utilizzare questa apparecchiatura a un'altitudine di 1.000 m o inferiore, a una temperatura di 25 ℃ ± 15 ℃ e un'umidità di 55% Rh ± 10% Rh.

1. acqua: l'apparecchiatura deve essere dotata di una macchina opzionale per l'acqua di raffreddamento a circolazione automatica (riempimento di acqua pura o acqua deionizzata)

2. Elettricità: AC220V 50Hz, deve avere una buona messa a terra

3. gas: la camera dell'apparecchiatura da riempire con argon (purezza 99,99% o più), è necessario fornire la propria bombola di gas argon (con valvola di riduzione della pressione)

4. Tavolo di lavoro: dimensioni 600 mm×600 mm×700 mm, portata pari o superiore a 50 kg.

5. Dispositivo di ventilazione: non richiesto

Parametro principale

1. Bersaglio: Ø50mm

2. Camera a vuoto: Ø160mm×120mm

3. grado di vuoto: ≤4×10-2mbar

4, corrente massima: 50 mA (100 mA opzionale)

5. È possibile impostare il tempo limite: 9999 s

6. Valvola micro vuoto: collegare il tubo da Ø3 mm

7. tensione limite: 1600 V CC

8. pompa meccanica: 2L/s

9. Materiale target:

Requisito dimensionale: φ50 mm× (0,1-0,5) mm (spessore)

Adatto per lo sputtering di Au, Ag, Cu e altri metalli (disponibili presso la nostra azienda)

10. Dimensioni: 360 mm×300 mm×380 mm

Peso complessivo: 50Kg, Peso netto: 15Kg


ESPOSIZIONE DEL PRODOTTO

Macchina per rivestimento sputtering magnetron sotto vuoto

 E-mail:  tob.amy@tobmachine.com

 Skype: amywangbest86

 Whatsapp/Numero di telefono: +86 181 2071 5609

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